形状弧形材质石英 规格型号8-24英寸主要用途电子冶炼化工 生产厂家锦州华升石英晶体材料厂
特点:高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定应用:半导体用拉制大直径单晶硅,大规模集成电路中的基础材料。
纯度分析
type型号
al
fe
ca
cu
k
na
li
b
oh
dhs
20
20
1.5
0.1
3
3
3
0.3
30
dhs—a
15
0.3
0.6
0.05
0.7
1.0
0.7
<0.1
30
dhs—b
8
0.2
0.6
0.02
0.3
0.9
0.2
<0.05
30
规格尺寸
crucible size
qutside dia
height
thickness厚度
r*
r﹡
坩埚尺寸
外径d
高度h
t1
t2
t3
8”
203+03
153+3
5.5+1.5
3
8.5
305
30
10”
254+2
178+3
6.0+1.5
3.5
9
305
70
12”
305+2
228+3
6.5+1.5
4
9.5
305
80
14”
355+2
254+3
7.5+1.5
5
10.5
400
90
16”
404+2
305+3
8.5+1.5
6
11.5
400
90
18”
457+2
355+3
8.5+1.5
6
11.5
500
120
20”
508+4
381+3
10+3
6
11.0
500
120
22”
558+4.5
381+3
10+3
7
11.0
558
89
24”
610+4.5
381+3
11+2
7+1
11.0
610
89
dhs标准纯度dhs-a高纯度、半导体级dhs-b等高度、低碱、低铝、低硼、半导体级
高纯合成石英涂层透明石英玻璃坩埚:
在半导体生产和制造化等工艺中。既要求石英器材有较高温度的承受能力,又要防止杂质离子扩散引起沾污。为解决此问题,我们以天然水晶石英玻璃为基体,内壁用高温喷涂工艺,涂上一层高纯合成石英玻璃,使同时具备了两种石英玻璃的优点。
化学纯度
-
铝
铁
钙
钛
镍
铜
钠
锰
铬
锂
硼
杂质总量
玻璃本体
17
1.7
3.4
1.2
1.3
<0.3
0.5
1.94
2.88
0.25
<3.0
0.1
0.25
24.85
涂层部分
0.37
0.31
0.27
0.04
0.03
<0.03
0.01
0.5
0.5
<0.03
<0.03
<0.03
0.02
1.22
半导体用透明石英玻璃坩埚规格尺寸
外直径
高度
底部半径
厚度
同一横截面的厚度公差
80±0.50.8
60
d-1/2
2.0±0.05
0.3
90±
70
d-1/2
2.0±0.5
0.3
100±
80
d-1/2
2.3±0.5
0.3
106±
90
d-1/2
2.3±0.5
0.3
114±
75
d-1/2
2.3±0.5
0.3
130±
110
d-1/2
2.5±0.5
0.4
134±
110
d-1/2
2.5±0.5
0.4
153±
153
d-1/2
3.0±0.5
0.4
178±
178
d-1/2
3.0±0.5
0.4
203±
203
d-1/2
3.0±0.5
0.4
透明石英玻璃坩埚
种类:高中低型规格:(ml) 5、10、15、20、25、30、40、50、75、100石英玻璃应变点、退火点、软化点与温度的关系
-
粘度(1g,泊)
水晶石英玻璃
合成石英玻璃
应变点
14.5
1075℃±25
1025℃±25
退火点
13.0
1140℃±25
1120℃±25
软化点
7.6
1730℃±40
1600℃±40
加工范围
5~8
1700~2100℃
1600~2000℃
彩色荧光粉用电弧法石英制品
产品名称
外径
壁厚
高度
底形
石英坩埚
90+1.5
5+1
110+2
园底round
平底flat
130+2
6+1
160+2
”
”
141+2
6.5+0.5
160+2
”
”
145+2
6+1
150+2
”
”
180+3
6+1
270+3
”
”
石英盘
280+2
7+1
110+2
-
”
305+2
7+1
55+1
-
”
325+1
8+1
105+1
-
”